LABORATORIO CIENCIA Y TECNOLOGÍA DE LOS MATERIALES IM-317, I-2013

PRÁCTICA N° 3:Uso y observación de muestras en el Microscopio Electrónico de Barrido (MEB).

Profesor: Ing. Rafael Ángel Loáiciga Chavarría.

EQUIPO: MEB, Marca: Hitachi, Modelos: S-570 y S-3700N.

Objetivo: Familiarizar al estudiante con el MEB, su aplicación, operación y los componentes básicos.

Introducción

Base teórica: a) Explique el Principio de funcionamiento.b) Mencione y explique los pasos del alineamiento del haz de

electrones para observar la muestra.c) Explique la función de cada uno de los lentes electromagnéticos.

Desarrollo: a) Explique la operación de funcionamiento. Encendido y apagado.b) Mencione que hay que hacer en el MEB en caso que se vaya la

luz, haya un terremoto y suene la alarma.c) Mencione las especificaciones del MEB Hitachi Modelo: S-570.d) Realice un esquema del cañón electrónico.

Resultados: a) Realice un diagrama de bloques del MEB utilizandoCañón electrónico, lentes condensadores, lentes objetivos, cámara de la muestra, muestra, sintilador, fotomultiplicador, amplificador y un monitor.

Conclusiones

Bibliografía

Operación de funcionamiento del Microscopio Electrónico de Barrido Hitachi S-570 y S-2360N

PROCEDIMIENTO DE ENCENDIDO Y APAGADO:

Para iniciar la operación del MEB ha de satisfacerse condiciones especiales para garantizar la seguridad del equipo y un funcionamiento estable. Deben cumplirse los siguientes requisitos para poder iniciar esta etapa:

1. Debe suministrarse la energía eléctrica que permitirá la operación del sistema de vacío y de los módulos electrónicos.

2. Las diversas válvulas neumáticas requieren de un adecuado suministro de aire para poder operar, el cual es producido por el compresor de aire. (5kg/cm2).

3. Tanto la columna del MEB como la Bomba de difusión requieren de un flujo mínimo de agua para que el sistema de enfriamiento mantenga la temperatura dentro de los límites permisibles. Debe garantizarse un flujo de al menos 1Lt/min. A una presión entre 0.5 y 2 Kg/cm2 y una temperatura entre 15 y 25 °C.

La falta de una de las condiciones anteriores es detectada por los mecanismos de seguridad del equipo, impidiendo de inmediato su operación.

ENCENDIDO Y OBTENCIÓN DEL ALTO VACÍO:

1. Conectar el “BREAKER” de encendido de la bomba de agua ( a la entrada del edificio) y asegurarse de la presión del agua por medio del manómetro, ubicado atrás del microscopio.

2. Conectar el arrancador electromagnético localizado en la pared del cuarto del MEB, oprimir la tecla “START”.

3. Colocar el interruptor EVAC POWER, en posición ON y esperar aproximadamente 30 minutos para obtener alto vacío.

De inmediato proceda a verificar lo siguiente:

El sonido de la bomba de rotación y del compresor indicarán que se encuentran en operación.

La luz roja “LOW” y la amarilla “WAIT” del sistema indicador de vacío, ubicadas en la mesa de la columna, deberán estar encendidas señalando que el vacío no es suficiente (LOW) y que se requiere esperar (WAIT) para calentar la bomba de difusión. Esta se apagará en unos 10 minutos.

ADVERTENCIA:

SI LA ALARMA PERSISTE UNA VEZ QUE EL COMPRESOR SE HA DETENIDO DESCONECTE EL INTERRUPTOR “EVAC” Y LLAME AL ENCARGADO.

4. Al cabo de unos 20 minutos la luz roja (LOW) se ha apagado y la luz verde (HIGH) se enciende indicando que se ha alcanzado la condición de ALTO VACÍO.

5. Proceda a colocar el interruptor “DISPLAY” en la posición “ON”. Este se encuentra a la derecha del interruptor “EVAC” y suministra la energía eléctrica a al PANEL DE CONTROL.

Unos segundos después aparecerá en la pantalla de observación la lista de parámetros de operación y sus correspondientes valores.

A partir de esta etapa el equipo está en condiciones de iniciar la operación. Se procede a colocar la muestra y seguidamente iniciar la operación del MEB.

SECUENCIA DE APAGADO:

1. Oprima el botón “OFF” del voltaje de aceleración ( PANEL DE CONTROL)para suprimir la emisión de corriente del filamento y el voltaje de aceleración.

2. Coloque el interruptor “DISPLAY” en la posición “OFF”.3. Retirar la muestra de la cámara del espécimen, siguiendo el procedimiento.4. Oprimir la tecla “EVAC” para que la columna quede en ALTO VACÍO.

HASTA AQUÍ LA SECUENCIA NORMAL DE APAGADO DEL MEB QUE PERMITE QUE OTRO USUARIO LO UTILICE.

SI EL MEB NO VA A SER UTILIZADO POR OTRO USUARIO PROCEGUIR CON LA SECUENCIA DE APAGADO.

EL MICROSCOPIO ELECTRÓNICO SIEMPRE HA DE APAGARSE CON LA COLUMNA EN CONDICIÓN DE ALTO VACÍO.

5. Colocar el interruptor “EVAC” en la posición “OFF”, para detener la operación del sistema de vacío.

6. Desconectar el arrancador electromagnético, oprimiendo la tecla “STOP”, ubicado detrás del microscopio para apagar el microscopio.

7. SE DEBERÁ MANTENER CIRCULANDO EL AGUA POR LO MENOS 20 MINUTOS DESPUÉS DE APAGADO EL EQUIPO PARA ENFRIAR LA BOMBA DE DIFUSIÓN Y LOS LENTES ELECTROMAGNÉTICOS.

8. Colocar el “BREAKER” del agua en “OFF”.